碳氮化鈦涂層——碳氮化鈦涂粉體制備（三）：
1.等離子體化學(xué)氣相堆積法：
? ? ? ? Ti(C，N)等離子體化學(xué)氣相堆積法通常是用等離子體激活TiCl4反響氣體，促進(jìn)其在基體外表或近外表空間進(jìn)行化學(xué)反響，生成Ti(C，N)固態(tài)膜的技術(shù)。后來為了避免TiCl4對反響容器的腐蝕和對環(huán)境形成污染，常采用無氯的含Ti有機(jī)物來取代TiCl4。這類含Ti有機(jī)物主要包括鈦酸四甲脂、鈦酸四乙脂、四異丙基鈦、鈦酸四丁脂及氨基鈦等。
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