氮化鈦涂層在微電子機械系統范疇的應用
1、使用氮化鈦涂層DLC涂層低外表能作為MEMS外表資料

跟著裝置零件尺度下降，外體現象變得越來越重要。伴跟著外體現象的范德華力，毛細管吸附效果以及由粘性引起的部分剪切力在微觀條件下變得至關重要。MEMS的典型裝置具有尺度范圍從幾十微米到幾毫米的元件，而且一個單獨元件部分的尺度(取決于磨損獻身層的厚度)更是在亞微米到幾微米之間。外表附著力和沖突力很大程度上決議著MEMS裝置的功能。附著力低會引起產品合格率下降并在安裝進程中會呈現產品品質參差不齊的問題，高的沖突磨損則會使產品提前損壞并下降產品的使用壽命。DLC具有低外表能和大的接觸角，這會下降獨立元器件黏附到基體上的傾向，明顯提高產品合格率、可靠性和使用壽命。

<a href=http://m.szycj.net.cn/news_article?news_id=129>氮化鈦涂層</a>

2、使用氮化鈦涂層DLC涂層低沖突系數作為MEMS固體潤滑劑
微型機械驅動器具有運動的部分，如微型發動機、齒輪、軸承，在運轉進程中會閱歷外表的緊密接合。在微尺度下，粘性剪切力特別高，所以液態潤滑劑不再是下降沖突的有效途徑。以Si為根底的微型電動機、微型發動機僅能正常運轉幾分鐘接著就會因為沖突而導致崩潰。DLC涂層具有很低的沖突系數而且磨耗率(每單位滑動間隔的磨耗量)也很低，使它們成為MEMS設備抱負的固態潤滑劑。試驗階段的線性電動機，滑動件外表覆蓋了5~15nm厚的DLC層，延長了部件的使用壽命至(15~80)×106個周期。盡管大多數的MEMS馬達并不應用于腐蝕性的空氣環境中，但它們還是會經過物理吸附效果來接觸到外界腐蝕環境，這個進程則會使資料的沖突耐磨功能產生適當大的動搖。四面體非晶碳膜(ta-C)在這方面的體現比含氫非晶碳膜(a-C：H)優勝，它們的沖突系數在真空及枯燥環境下較高，但卻在適當的范圍內體現得很穩定，即便在濕度添加的環境中也沒有明顯添加。
3、使用氮化鈦涂層DLC涂層多種功能充任MEMS結構資料
DLC涂層作為MEMS的結構資料時吸引人的特色便是它們高的楊氏模量，高硬度，高的熱傳導性，低的熱膨脹系數。因為具有高的諧振頻率，金剛石和DLC涂層已經成功地作為結構性資料應用在懸臂梁和梳狀驅動器上;因為低的熱膨脹系數，它們應用在雙壓電晶片結構上;因為可以很大程度地散熱，它們廣泛應用于MEMS的封裝;而應用在微型齒輪和線性電動機上則是使用了它們低的沖突系數和高的抗磨損功能。以DLC為根底的MEMS設備包括傳感器和驅動器等。

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