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和道科技解說影響氮化鈦涂層功能的因素
發表于:2022-02-21
來源:
和道科技
解說影響氮化鈦涂層功能的因素
一、溫度:
和道科技
講溫度是影響氮化鈦涂層功能好壞的一個重要工藝參數。堆積溫度過高,堆積速率過快,涂層安排呈粗大枝狀結晶,影響涂層的質量;而堆積溫度過低,也簡單構成多孔、疏松的堆積物,下降與基體的結合強度。因而,合理挑選溫度是取得厚度適中、顯微安排呈致密柱狀結晶的高質量涂層的必要條件。
二、涂層厚度:
和道科技
講氮化鈦涂層厚度對其硬度的影響很大,涂層太薄,在外力作用下涂層簡單變形脫落;涂層太厚,則處于高的應力狀態,其抗變形、抗脫落能力將會下降,而且涂層簡單變脆。一般單一硬質PVD或CVD涂層的厚度在1~10μm之間,多層涂層的單層厚度一般不超過5μm。
和道科技
講在氮化鈦涂層制備過程中,影響涂層厚度的因素是多方面的,如在多弧離子鍍制備TiN涂層時,當工件與靶源的間隔靠近涂層厚度將加大;隨著鍍層時刻的延長涂層厚度將加大。一般在靶源數量、基體與靶源間隔確認的情況下,可通過調整電弧電流及鍍層時刻來取得一定厚度的涂層。
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